本系成立於1964年，為本校最早成立的兩學系之一。本系著重「電子元件」相關的「基礎與應用物理」，在半導體實驗與雷射應用等領域，展現國內最新穎、最具前瞻性之教學和研究，並奠定了本校在國內半導體和光電領域的優勢地位。
基礎與科技應用並重的設計乃本系之傳統，提升學生的視野，培養紮實學理基礎高科技人才。在教學方面計有普通物理、實驗物理、電子學、半導體、光學等實驗室。實驗課程內容豐富，除了驗證課堂上所學的理論，加深印象和提高學習興趣外，更重要的是提升學生的實作經驗和培養優良的實驗態度與能力，有助於將來從事較高深之基礎科學研究或到產業界服務時，有解決問題的能力，以適應不斷進步的科不斷進步的科學技術和新的科學領域!
配合政府次世代半導體人才培訓計畫，本系兼具物理、電子、光電、材料、半導體以及奈米科學等跨領域特色，畢業生均為園區熱門產業(如：半導體、IC設計、光電、電子等)以及各校研究所首選。提供專業學程、論文學程、以及跨域專長學程等多樣選擇，針對不同學生適性教學，並藉以結合逕讀等直升方案，縮短碩、博士修業時程。
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